گاز,گاز کالیبراسیون,گاز نیتروژن تری فلوراید,گاز میکس,گاز ترکیبی

گواهی نامه ها :

گاز نیتروژن تری فلوراید

Trifluoride Nitrogenیا نیتروژن تری فلوراید ترکیب معدنی با فرمول NF3 است. این ترکیب نیتروژن فلوئور بی رنگ، سمی، بی بوو گازی غیر آتش زاست.

کاربرد ها :
Nitrogen trifluoride در اچ پلاسما کاربرد فراوانی دارد . امروزه عمدتا در تمیز کردن اتاق های PECVD برای تولید حجم بالایی از صفحه نمایش های کریستال مایع و سلول های خورشیدی فیلم نازک ( سیلیکونی ) استفاده می شود . NF3 در ترکیبات سازنده تنگستن قابل استفاده است . NF3 به عنوان یک جایگزین سازگار با محیط زیست ترجیح داده شده است.
در فرایند تولید پلاسما نیز کاربرد دارد . NF3 معمولا به اتمسفر فرار میکند و اخیرا سیستم های کاهش انتشار گاز ها ( گازهای گلخانه ای و ..) از این فرار جلوگیری میکند نیتروژن تری فلوراید در ترکیبات نوعی لیزر شیمیایی استفاده می شود. NF3 گازی حامل با ثباتی بالاست . NF3 سازگار با فولاد و مونل ، و همچنین چندین پلاستیک است استفاده از NF3 در صنایع میکرو الکترونیک , رو به افزایش است .

خواص و ویژگی های بارز :

نام شیمیایی	Nitrogen trifluoride
فرمول ملکولی	NF3
جرم ملکولی	71.00 g/mol
نقطه جوش ( درجه سلسیوس )	−129.1 °C; −200.4 °F; 144.1 K
CAS number	7783-54-2